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| inter-die error | Fehler zwischen den Einzelchips |
| inter-die spacing | Abstand zwischen den Chips |
| inter-element proximity effect | Proximity-Effekt (Nachbarschaftsbeeinflussung durch diffuse Rückstreuung der Elektronen von einem benachbarten Element) |
| inter-element scattering | Streuung zwischen den Elementen |
| inter-element spacing | Elementabstand |
| inter-mask check | Kontrolle von Maske zu Maske (der Schaltkreisstrukturen) |
| inter-objective spacing | Abstand zwischen den Objektiven |
| inter-sample processing | Verarbeitung zwischen den Abtastungen |