Terms for subject Microelectronics containing Atom

English	German
contaminant metal atom	Verunreinigungsmetallatom
deflect the direction of an atom	ein Atom aus seiner Richtung ablenken
foreign atom	Störatom
impact an atom	auf ein Atom stoßen
impurity atom density	Störatomdichte
interstitial silicon atom	Zwischengittersiliziumatom
place the oxygen atom between the silicon lattice	das Sauerstoffatom auf einen Siliziumzwischengitterplatz setzen
substitutional atom	substituiertes Atom
target atom	Quellenatom