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Microelectronics
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English
German
A bus
A-Bus
(primärer interner Bus eines Mikroprozessors)
A-address input
A-Adreßeingang
A-address register
A-Adreßregister
abort a frame
einen Datenübertragungsblock beenden
absence of error in a set of data
Fehlerfreiheit in einem Datensatz
absorber pattern supported on a flat membrane
Absorberstruktur auf einer ebenen Membranfolie
(Röntgenlithografie)
a.c. amplifier
Wechselstromverstärker
a.c. characteristics
dynamischer Kennwert
a.c. dump
Zusammenbruch der Wechselspannung
a.c. field
Wechselfeld
a.c. input parameter
Wechselstromeingangsparameter
a.c. operation
Wechselstrombetrieb
a.c. quantity
Wechselstromgröße
a.c. signal
Wechselstromsignal
a.c. voltage gain
Wechselspannungsverstärkung
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
a.c.-coupled flip-flop
AC-gekoppeltes Flipflop
(s.a. edge-triggered flip-flop)
acknowledge a signal
ein Signal bestätigen
act
as a
short circuit
als Kurzschlußleitung wirken
adapt to a computer interface
einem Computerinterface anpassen
add a digit to the next higher digit position
eine Ziffer zur nächsthöheren Stelle addieren
adjust resistance values by a laser beam
Widerstandswerte mit einem Laserstrahl abstimmen
advance a number stored in a register
eine im Register gespeicherte Zahl erhöhen
align a pattern with underlying ones
eine Struktur zu darunterliegenden justieren
alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer
alignment requirements near a tenth-micron
Justierungsanforderungen von etwa einem zehntel Mikrometer
alignment system of a wafer stepper
Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
allocate the time of a central processor to a specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
analogue-to-digital and D-A converter
A-D-D-A-Wandler
annihilate a bubble
eine Blase vernichten
appear in graphic form on a terminal screen in
grafischer Form auf einem Bildschirm erscheinen
apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a potential to electrostatic beam blanking plates
ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen
apply a thick layer of a resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
apply a voltage
eine Spannung anlegen
architecture of a buffer
Aufbau eines Pufferspeichers
arrangement of data in a record
Anordnung der Daten in einem Satz
arrangement of parts of a computer instruction
Anordnung von Teilen eines Maschinenbefehls
array of alignment targets on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
array of dice on a photomask
Verband von Einzelbildern auf einer Fotomaske
assemble the two bytes into a 16-bit word
die zwei Bytes zu einem 16-Bit-Wort zusammensetzen
assign each task a priority level
jeder Aufgabe eine Prioritätsebene zuordnen
attach the tape-mounted chip directly to a substrate
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen
attract a bubble
eine Blase anziehen
availability approaching 90 % in a manufacturing environment
Verfügbarkeit von etwa 90 % unter Produktionsbedingungen
average over a number of readings
über eine Reihe von Meßwerten mitteln
back direction of a rectifying^ contact
Sperrrichtung eines Gleichrichterkontakts
basic circuit for a dual-slope converter
Grundschaltung für einen Zweirampenumsetzer
basic part of a computer system
Grundeinheit einer Rechenanlage
8-bit D-A converter
8-Bit-D-A-Wandler
bit sequence in a frame
Bitfolge in einem Datenübertragungsblock
bond directly to a substrate
direkt auf ein Substrat bonden
bond the outer leads to a lead frame
die äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden
bondable with a positive resist
bindungsfähig mit einem Positivresist
boost performance by a factor of as much as 10
die Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost the driving capability of a microprocessor
die Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
bounded at each end by a flag
an jedem Ende durch ein Flag begrenzt
bring in a new task
eine neue Aufgabe aufnehmen
broaden the effective size of a focussed beam
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
build D-A converters in hybrid form
D-A-Wandler in Hybridtechnik bauen
build up a static charge
eine statische Ladung aufbauen
build up the total image of a circuit from rectangles
die Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build-up of a space charge region
Aufbau eines Raumladungsbereichs
bump symmetry on all four sides of a chip
Bondhügelsymmetrie auf allen vier Seiten eines Chips
bypass a low-yielding part of the mask making process
einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
carry from a previous digit position
Übertrag von einer vorausgehenden Ziffernstelle
carry into a digit position
Übertrag in eine Ziffernstelle
cast equation
1
in a slightly different form
Gleichung
1
leicht umformen
chamber with a stable temperature
Kammer mit konstanter Temperatur
characterization of a global alignment on a wafer stepper
Bewertung einer Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper
charge-balancing A-D converter
Ladungsausgleich-A-D-Umsetzer
check periodically against a fiducial mark on the stage
periodisch an einer Justiermarke auf dem Tisch überprüfen
check periodically against a fiducial mark on the stage
in periodischen Zeitabständen gegen eine Meßmarke auf dem Tisch prüfen
chip-carrier array on a p.c. board
Chipträgeranordnung auf einer Leiterplatte
chordal flat of a wafer
Anschliff eines Wafers
chromium layer on a photomask
Chromschicht auf einer Fotoschablone
circuit configuration at a 10 × scale factor
Schaltungskonfiguration in zehnfacher Vergrößerung
circuit structure for a fan-in of 1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3
clamp in a computer logic circuit
Begrenzerschaltung in einem logischen Schaltungsaufbau eines Rechners
classify a defect as non-defective
einen Defekt als unterhalb der Defektgrößengrenze liegend einstufen
close a circuit
einen Schaltkreis schließen
coat with a one-micron film of photoresist
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
collapse a bubble
eine Blase vernichten
come to a halt
stoppen
command a jump to program memory address 33
einen Sprung zur Programmspeicheradresse 33 befehlen
commission programs on a mainframe computer
Programme auf einem Großrechner laufen lassen
common onto a single data output line
auf eine einzige Datenausgangsleitung zusammenführen
compile a design
einen Schaltungsentwurf durch Softwareprogrammierung realisieren
compile a test program
ein Testprogramm kompilieren
completion of a read operation
Abschluß eines Lesevorgangs
component side of a printed circuit board
Bestükkungsseite einer Leiterplatte
components populating a PCB
auf einer Schaltungsplatte eingesetzte Bauelemente
compose rectangles into a complex pattern
Rechtecke zu einer komplexen Struktur zusammensetzen
compress the entire CPU into a single chip
die gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen
conceptualize a design
einen Entwurf konzeptionell erarbeiten
conceptualize a design
eine Entwurfskonzeption machen
conductive path on a substrate
Leiterbahn auf einem Substrat
conductive pattern of a circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
configure a custom system
eine kundenspezifische Anlage zusammenstellen
connect a number of terminals to a central processor
eine Reihe von Datensichtgeräten mit dem Zentralprozessor verbinden
connect to a common system bus
an einen gemeinsamen Systembus anschließen
consolidate dozens of logic elements into a single IC
Dutzende von Logikelementen in einer einzigen integrierten Schaltung vereinigen
construct a computer system in-house
ein eige nes Rechnersystem aufbauen
consume a large part of the die area
einen großen Teil der Chipfläche einnehmen
(beanspruchen)
contact printing from a mask to a wafer
Kontaktbelichtung von einer Maske auf einen Wafer
contact-print onto a chrome plate
auf eine Chromplatte im Kontaktverfahren kopieren
contents of a file
Dateiinhalt
continual recirculation of a signal
ständiger Umlauf eines Signals
contrast of a resist
Kontrast eines Resists
control exposure by a light integration system
die Belichtung durch ein Lichtintegrationssystem steuern
convert the designer's topography into a primary pattern
die Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen
copy a file from one medium to another
eine Datei von einem Speichermedium auf ein anderes übertragen
copy a file without changing its contents
eine Datei ohne Änderung ihres Inhalts kopieren
copy of a chrome mask
Kopie einer Chrommaske
copy the contents of a memory area to a backing store
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
copy the pattern data from a magnetic tape
die Strukturdaten von einem Magnetband kopieren
correctness of alignment between reticles in a set
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz
corrupt a file
eine Datei verstümmeln
couple into a film of resist
in eine Resistschicht einkoppeln
create a mask
eine Maske herstellen
(deren Struktur auf Bauelementsubstrate übertragen wird)
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a new copy of the file
eine neue Kopie der Datei erzeugen
create a perfect null
eine vollkommene Nullanzeige erreichen
cross at a common quiescent point
sich in einem gemeinsamen Arbeitspunkt schneiden
cross over a bond
über eine Bondstelle hinwegführen
cross over a bond
eine Bondstelle überqueren
current contents of a counter
aktueller Inhalt eines Zählers
custom-built-fitted for a variety of applications
für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt
cut off the least significant digits of a number
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut the mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
d.c.-to-a.c. power converter
Wechselrichter
deallocate a block of memory
die Zuordnung für einen Speicherblock aufheben
deallocate a block of memory
einen Speicherblock freigeben
decompose into a number of stripes
in eine Reihe von Streifen zerlegen
decompose the pattern into a number of elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
deflect in a curved path
in eine gekrümmte Bahn ablenken
deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
delay a signal
ein Signal verzögern
delegate communications management to a separate device
die Durchführung der Datenübertragung einem getrennten Gerät übertragen
delineate a pattem in the photoresist film on a wafer
eine Struktur im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
(Elektronenstrahllithografie)
deliver performance equal to a conventional minicomputer
die Leistung eines herkömmlichen Kleinrechners erbringen
demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication
den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
demagnify to a probe of 10 Ä
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
depress a key
eine Taste drücken
detect a null in the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
develop for a fixed time
eine bestimmte Zeit
lang
entwickeln
diagnose an error in a program
einen Fehler in einem Programm diagnostizieren
diagnose the computer from a remote site over telephone lines
den Rechner vom Fernbedienungsplatz aus über Telefonleitungen diagnostizieren
(prüfen)
diagrammatic representation of a computer program
Schemadarstellung eines Rechenprogramms
die size of 10 millimetres on a side
Chipgröße von 10 mm x 10 mm
differ by a fixed numerical factor
sich um einen festen Faktor unterscheiden
diffuse impurities into a slice of germanium
Störatome in eine Germaniumscheibe eindiffundieren
digit of a decimal number
Ziffer einer Dezimalzahl
digitize a layout
ein Layout digitalisieren
dimension below a few tenths of nanometres
Abmessung unter einigen zehntel Nanometer
dimensional inspection in a microdensitometer mode
Kontrolle der Abmessungen nach einem Mikrodensitometerverfahren
direct stepping of a reticle onto wafers
direkte Übertragung einer Retikelstruktur auf Wafer
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
displacement of a benchmark
Verschiebung einer Festpunktmarke
display on a terminal
Anzeige auf einem Datensichtgerät
dissect a pattern into stripes
eine Struktur in Streifen zerlegen
distribute to a large number of gates
an eine große Zahl von Gattern verteilen
dope in a controllable way
kontrollierbar dotieren
dope through a covering layer
durch eine Deckschicht hindurchdotieren
double-buffered D-A converter
D A-Umsetzer mit doppelter Pufferung
draught the final artwork on a plotting table
die endgültige Vorlage auf einem Zeichentisch zeichnen
draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
draw at a 10×magnified scale
10 fach vergrößert zeichnen
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
dual-slope
integrating type
A-D converter
A/D-Wandler nach dem Zweiflankenverfahren
dual-slope
integrating type
A-D converter
2-Rampen-A/D-Umsetzer
dual-slope
integrating type
A-D converter
Zweirampen-A-D-Umsetzer
dump the contents
as a
printout
den Speicherinhalt als Ausdruck ausgeben
dump the contents to a backing store
den Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern
edge of a wafer
Rand eines Wafers
edgeboard connector of a p.c. board
Stekkerleiste einer gedruckten Schaltung
element of data descriptive of a record
Datenelement zur Beschreibung eines Satzes
eliminate a record from a file
einen Satz aus einer Datei eliminieren
emit a continuous signal
ein Dauersignal aussenden
employ extensively in a wide variety of applications
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
empty position on a recording medium
leere Stelle auf einem Speichermedium
enclose in a shield
abschirmen
enclose within a shield
abschirmen
encompass a range of wavelengths
einen Wellenlängenbereich umfassen
end a frame
einen Datenübertragungsblock beenden
enlarged image of a single circuit pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
ensure a reliable electrical interconnection
eine zuverlässige elektrische Verbindung gewährleisten
enter a desired address from the control panel
eine gewünschte Adresse über das Bedienungsfeld eingeben
enter a non-conducting state
in einen Sperrzustand übergehen
enter a routine
in eine Routine einspringen
enter a word directly into memory
ein Wort direkt in den Speicher eingeben
enter at the console a formatted listing auf
der Konsole eine formatierte Auflistung eingeben
enter the value into a particular location in the data memory
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
entry to a routine
Einsprung in eine Routine
erase a program from memory
ein Programm im Speicher löschen
erasure of the contents of a file
Löschen des Dateiinhalts
erasure of the contents of a file
Löschung des Dateiinhalts
establishment of a steady-state condition
Aufbau eines stationären Zustands
etch a wafer with a groove
einen Graben in einen Wafer ätzen
exchange information in a well-defined manner
Informationen in genau festgelegter Weise austauschen
execute a program
ein Programm abarbeiten
execute without a break
ohne Unterbrechung ausführen
exit from a subroutine
aus einem Unterprogramm austreten
expand into a Fourier series
in eine Fourier-Reihe entwickeln
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose a wafer in step-repeat fashion
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose directly a polymer film
eine Polymerschicht direkt belichten
expose in a step-and-repeat fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose only a die at a time
jeweils nur ein einzelnes Chip belichten
expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose rectangles in a single shot
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
exposure time on the order of a minute
Expositionszeit von etwa einer Minute
exposure time on the order of a minute
Belichtungszeit von etwa einer Minute
extend to a distance less than a wavelength of light away from the mask
sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
extract a unit of data from memory
eine Dateneinheit aus dem Speicher abziehen
fabricate device structures down to the 100 Ä range
Bauelementstrukturen bis in den 100-Ä-Bereich herstellen
fall below a certain minimum
einen bestimmten Minimalwert unterschreiten
fall below a critical value
unter einen kritischen Wert abfallen
fallout from a series of qualification tests
Aussonderung aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
fallout from a series of qualification tests
Herausfallen aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
fast-acceleration A-D converter
schneller A-D-Wandler
fault reporting on a turnkey basis
reparaturgerechte Fehlermitteilung
(mit detaillierter Angabe des auszutauschenden Bauelements)
feed a comparator
einen Komparator speisen
feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
feed the pulses into a counter
die Impulse einem Zähler zuführen
feed the pulses into a counter
die Impulse in einen Zähler eingeben
fill in the feature in a raster-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
finely focussed 2000 Ä diameter electron beam
feinfokussierter Elektronenstrahl von 2000 Ä Durchmesser
fit into a mother board
in ein Leiterplattenchassis passen
flat to within a few microns
plan bis auf einige Mikrometer
focus a magnified image onto a physical slit
ein vergrößertes Bild auf den Spalt fokussieren
focus the beam just to the side of a knifeedge
den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren
form a mask pattern by scanning a raster in a serpentine manner
eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
form electrical connections between the chip and a metal pattern
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen
formation of a charge layer
Entstehung einer Ladungsschicht
formation of a charge layer
Bildung einer Ladungsschicht
fractional part of a decimal numeral
Bruchteil einer Dezimalzahl
frequency response of a planar transistor
Grenzfrequenz eines Planartransistors
function by a different mechanism
nach einem anderen Mechanismus arbeiten
gamma of a resist
Gammawert eines Resists
generate a frequency proportional to the input voltage
eine Frequenz proportional zur Eingangsspannung erzeugen
generate a mask pattern
eine Maskenstruktur herstellen
generate a reticle directly from input data
ein Retikel direkt aus Eingangsdaten herstellen
generate the pattern by exposing a resist coating
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
give a value of d/L very nearly unity
einen Wert für d/L von annähernd Eins ergeben
give out a voltage
eine Spannung abgeben
glass substrate coated with a high-resolution emulsion
Glassubstrat mit einer hochauflösenden Emulsionsschicht
group into a single block
in einem einzigen Block gruppieren
grow a π epitaxial layer on the substrate
eine π-Epitaxieschicht auf das Substrat aufwachsen lassen
grow epitaxial silicon in a hydrogen atmosphere from SiH₄
epitaxiales Silizium in einer Wasserstoffatmosphäre aus Silan aufwachsen lassen
house a larger chip in a smaller package/ to
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen
identify a file
eine Datei zuordnen
identify by a generation number
durch eine Erstellungsnummer kennzeichnen
identify the erroneous bit by a corresponding binary 1
das fehlerhafte Bit durch eine entsprechende binäre 1 kennzeichnen
image a reticle on the photoresist layer
ein Retikel auf die Fotoresistschicht abbilden
image an aperture in the plane of a second aperture
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image only a subrectangle on the target
nur ein Rechteck auf das Objekt abbilden
image onto a wafer with photons
mit Photonen auf einen Wafer abbilden
image transfer at a 1:1 ratio
Strukturübertragung im Verhältnis 1:1
image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden
imaging process of a step-and-repeat aligner
Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
implement programs in a top-down manner
Programme von der hierarchisch höchsten Programmkomponente schrittweise bis zur niedrigsten Ebene erstellen
importance of a message
Bedeutung einer Nachricht
impose a major limitation
eine wesentliche Be Schränkung auferlegen
impose a succession of patterns
eine Folge von Strukturen aufbringen
impurity content of a diffused silicon wafer
Störstellengehalt eines diffundierten Siliziumwafers
inclusion in a single chip device
Einbau in ein Einchipbauelement
incorporate a complementary insulating layer eine
zusätzliche Isolationsschicht einbringen
incorporate a low quantity of impurity into silicon
eine geringe Zahl von Störatomen in Silizium einbauen
increase by a factor of 4
sich um das Vierfache vergrößern
indicate the end of a block
das Blockende anzeigen
inhibit a hardware feature
eine Systemeinrichtung sperren
initiate a count again
eine Zählung von neuem einleiten
(beginnen)
initiate a line connection
eine Leitungsverbindung herstellen
initiate the A-D conversion process
den A-D-Umsetzungsprozeß einleiten
initiate the loading of a program into a computer
die Eingabe eines Programms in einen Computer einleiten
initiation of a job
Beginn eines Jobs
initiation of a job
Auslösen eines Jobs
injection of holes from a p+ into an n-region
Injektion von Löchern aus einer p⁺- in eine n-Zone
input from a keyboard
Tastatureingabe
input from a keyboard
Eingabe über Tastatur
insert a buffer register
ein Zwischenspeicherregister einfügen
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
integral part of a decimal numeral
ganzzahliger Teil einer Dezimalzahl
integrate an increased amount of circuitry onto a single chip
einen komplexeren Schaltkreis auf einem einzelnen Chip integrieren
integrate 1000 logic gates on a single chip
1000 logische Gatter auf einem einzigen Chip integrieren
integrating dual-slope D-A-converter
2-Rampen-D-A-Umsetzer
intelligible to a processor
lesbar für einen Prozessor
interaction of a focussed electron beam with a polymer film
Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht
interconnect interactively on a CRT-based graphics editor
auf einem Bildschirmgrafikeditor interaktiv verbinden
(z. B. Schaltkreiselemente)
interconnect of a multilayer construction
Verbindungsleitung einer Mehrschichtkonstruktion
interconnect separate circuits on a common substrate
getrennte Schaltkreise auf einem gemeinsamen Substrat miteinander verbinden
interface with a digital computer
mit einem Digitalrechner koppeln
interface with a digital computer
an einen Digitalrechner anschließen
interface with a microprocessor
sich an einen Mikroprozessor anschließen lassen
interfaceable via a cable
koppelbar über eine Anschlußleitung
internal architecture of a microcomputer
innerer Aufbau eines Mikrocomputers
internal architecture of a microcomputer
Innenaufbau eines Mikrocomputers
interpose a filter between condenser and mask
ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen
interpose a processor
einen Prozessor Zwischenschalten
interrogate the status via a special support bus
den Status über einen speziellen Hilfsbus abfragen
interruption of processing by a system failure
Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
introduce a time lag into the process of transmitting data
eine zeitliche Verzögerung in den Datenübertragungsprozeß einführen
introduce impurities into the wafer in a particular pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen
inverse-blocking voltage of a junction rectifier
Sperrspannung eines Sperrschichtgleichrichters
inverted R-2R D-A converter
D A-Umsetzer mit invertiertem R-2R-Widerstand-Netzwerk
irradiate a mask onto the resist-coated wafer
das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren
isolate the p-regions from the substrate material by a depletion layer
die p-Zonen vom Substratmaterial durch eine Verarmungsrandschicht trennen
isolate the problem to a circuit card
das Problem auf eine Schaltungskarte einkreisen
(eingrenzen)
issue a busy signal to the microcomputer
ein Belegtsignal an den Mikrocomputer geben
issue a control signal
ein Steuersignal ausgeben
item in a set of information
Angabe in einem Informationssatz
join a microcircuit to an external circuit
einen Mikroschaltkreis mit einer äußeren Schaltung verbinden
keep a log of all requests
ein Protokoll von alien Anforderungen erhalten
keep downtime to a minimum
die Ausfallzeit minimal klein halten
key in a flock of ones and zeroes
einen Haufen von Einsen und Nullen eintasten
key in a series of programming steps
eine Reihe von Programmschritten eintasten
lay down a thin nitride layer
eine dünne Nitridschicht aufbringen
lay out and construct a printed circuit board
eine Leiterplatte entwerfen und herstellen
lay out the circuit according to a set of design rules
das Schaltkreislayout unter Berücksichtigung der Entwurfsregeln ausführen
lay out the logic configurations in pencil on a layout sheet
die logischen Verknüpfungen von Hand auf einem Layoutblatt zeichnen
layer of gold less than a micrometre thick
Goldschicht von einer Dicke unter 1 μm
layer-to-layer overlay on a wafer
Überdekkung der Schichten auf einem Wafer
leave a flat surface on the variable-thickness resist
eine plane Oberfläche auf dem unterschiedlich dicken Resist hervorrufen
length of a register
Registerlänge
lid of a can
Deckel eines Gehäuses
lid of a can
Gehäusedeckel
lie along a common axis
auf einer gemeinsamen Achse liegen
link directly to a single bus
mit einem Einzelbus direkt verbinden
link the customer to the system via a telephone line
den Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden
link to a central controller
an ein Zentralsteuergerät anschließen
load a control program at the reset start address
ein Steuerprogramm auf der Rücksetzstartadresse laden
(einlesen)
load a new mask into the system
eine neue Maske in das System einschleusen
load a program at a specified address
ein Programm in einer bestimmten Adresse einlesen
load into a cassette
magazinieren
load the error data on a magnetic tape
die Fehlerdaten auf einem Magnetband einschreiben
loading in a cassette
Magazinierung
loading of a program into a computer
Eingabe eines Programms in einen Rechner
locate the radix point at a fixed predetermined position
den Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen
location of the bond pads in the corners of a chip
Lage der Bondinseln in den Chipecken
logic Simulation of the gate level performance of a circuit
logische Simulation der Schaltungsleistung auf Gatterebene
main memory of a central processor
Zentralspeicher
maintain a constant resist feature size
eine konstante Linienbreite im Resist einhalten
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen
make up a block to a fixed size
einen Informationsblock auf eine bestimmte Länge auffüllen
manufacturing sequence of a resistive network
Herstellungsfolge eines Widerstandsnetzwerks
maximize the probability of detecting a failure
die Wahrscheinlichkeit eines Fehlernachweises maximieren
maximum gain of a transistor
Maximalverstärkung eines Transistors
meet the design rules for a particular fabrication facility
den Entwurfsregeln für eine bestimmte Fertigungseinrichtung entsprechen
membrane supported on a silicon frame
Membran auf Siliziumrahmen
metal leads of a DIP
Anschlußbeine eines DIL-Gehäuses
micro-architecture of a computer
Mikroaufbau eines Rechners
microwave receiver on a GaAs chip
Mikrowellenempfänger auf einem GaAs-Chip
200 mils on a side
200 tausendstel Zoll Kantenlänge
minify the image of a variable aperture
das Bild einer veränderlichen Blende verkleinern
minimum dimension down to 700 A
kleinste Abmessung bis zu 700 Ä
model A to model B retrofit
nachträgliche Aufrüstung des Modells A zum Modell B
modify the contents of a storage location
den Inhalt einer Speicherzelle ändern
momentary application of a reverse bias voltage
kurzzeitige Anlegung einer Sperrvorspannung
monitor stage position by a laser interferometer
die Tischposition laserinterferometrisch überwachen
(kontrollieren)
monitoring accuracy down to several hundredths of a micron
Kontrollgenauigkeit bis zu einigen Hundertsteln eines Mikrometers
monitoring from a central console
Überwachung von einem zentralen Schaltpult
monolithic D-A converter
monolithischer D-A-Umsetzer
mount separate circuits on a common substrate
getrennte Schaltkreise auf einem gemeinsamen Substrat anordnen
mount the probed wafer on a flat substrate
den geprüften Wafer auf einem ebenen Substrat aufbringen
move from row to row in a serpentine pattern
sich von Zeile zu Zeile serpentinenartig bewegen
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the X-Y stage to a given position
eine bestimmte Position mit dem Koordinatentisch anfahren
move to the location of a fiducial mark den
Ort einer Justiermarke anfahren
multichannel A-D converter
Mehrkanal-A-D-Umsetzer
multichip mounting on a board
Mehrchipmontage auf einer Leiterplatte
multipurpose capability of a system
Möglichkeit mehrerer Funktionen einer Anlage
mutual conductance of a FET
Steilheit eines Feldeffekttransistors
negate the result of a Boolean operation
das Ergebnis einer Booleschen Verknüpfung negieren
normal position of a contact
Grundstellung eines Kontakts
normal position of a contact
Normalstellung eines Kontakts
object to image distance at a 10:1 image reduction
Objektabstand bei zehnfacher Bildverkleinerung
occupy a location
einen Speicherplatz belegen
occupy a minimal area on the wafer
eine minimale Fläche auf dem Wafer einnehmen
offset by a known amount
um einen bekannten Betrag versetzt
omission of a symbol
Auslassung eines Symbols
one-of-a-kind microprocessor-based system
Einzelanlage auf Mikroprozessorbasis
opaque line on a clear background
lichtundurchlässige Linie auf transparentem Untergrund
operate at high speed and with repeatability in a real plant environment
sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten
operate at twice the speed of a 5-V device
mit der zweifachen Geschwindigkeit eines 5-V-Bauelements arbeiten
operate off a single 5-V supply
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist werden
operate off a wide range of power supplies
sich an Netzgeräte mit großem Spannungsbereich anschließen lassen
operate on a different principle
nach einem anderen Prinzip arbeiten
operate on a non-interrupt philosophy
nach dem Nichtunterbrechungsprinzip arbeiten
operate over a 1-to-5 megahertz range
im 1- bis 5-MHz-Bereich arbeiten
operate with a fixed clock
mit einem festen Takt arbeiten
operating parameter of a finished device
Betriebsparameter eines fertigen Bauelements
operation in a coherent light regime
Betriebsart mit kohärentem Licht
outline the feature with a small spot and fill it with large blocks
die Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
output a 1 in bit position 0 of the data bus
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben
output a test program
ein Testprogrämm ausgeben
overlay a pattern on lower-level patterns eine
Struktur mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay precision of two levels on a wafer
Überdeckungsgenauigkeit von zwei Ebenen auf einem Wafer
overlay within a specified tolerance
sich mit einer festgelegten Toleranz überdecken
oxygen incorporation into a sputtered film
Sauerstoffeinbau in eine aufgestäubte Schicht
pack more and more circuit elements and functions on a monolithic silicon substrate
immer mehr Schaltungselemente und Funktionen in einem monolithischen Siliziumsubstrat integrieren
pack more than 100,000 transistors onto a single chip
über 100 000 Transistoren in einem Einzelchip integrieren
pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
Zehntausende elektronischer Funktionen in ein Einzelchip integrieren
package up to eight chips within a 1 in. square module
bis zu acht Chips in einem Baustein von 1 Quadratzoll kapseln
parallel transfer of a mask pattern to a substrate
Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat
partition the circuit function over a set of boards
die Schaltkreisfunktion über mehrere Leiterplatten verteilen
partitioning of a communication channel
Aufteilung eines Datenübertragungskanals
partitioning of a complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
pattern a reticle
ein Retikel mit dem Bildgenerator herstellen
pattern a wafer by stepping through 200 fields
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren
pen plot of a mask layer
Zeichnung einer Maskenschicht
perform a single computer operation
eine einzige Rechneroperation ausführen
perform an increased number of circuit functions within a single IC
eine größere Anzahl von Schaltungsfunktionen in einem einzelnen integrierten Schaltkreis ausführen
permanent feature of a device
Dauereinrichtung eines Geräts
photocompose the pattern from a number of reticle images
die Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
(montieren)
picture-in-a-picture circuitry
Schaltkreis zur gleichzeitigen Erzeugung eines Bildes innerhalb eines Fernsehbildes
piece together on a master plate
auf einer Originalplatte zusammensetzen
pinch-off voltage of a depletion-mode device
Abschnürspannung eines Bauelements des Verarmungstyps
pinpoint a bad component on a p.c. board
ein defektes Bauteil auf einer Leiterplatte lokalisieren
place into a high-impedance state
in einen hochohmigen Zustand setzen
place two masks back-to-back on a carrier
zwei Masken mit ihren Rückseiten zueinander auf einen Träger einsetzen
placement on a circuit board
Einsetzen auf einer Leiterplatte
plague a system
ein System stören
planarize by a bottom polymer layer
durch eine Polymergrundschicht planarisieren
position the beam at the centre of a field
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
position the resist within a few micrometres of the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren
positioning of a mask with respect to a sample
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
power by a step motor
durch einen Schrittmotor antreiben
power capability of a bipolar transistor
Leistungsfähigkeit eines Bipolartransistors
power handling capacity of a FET
Leistungsvermögen eines FET
power handling capacity of a FET
Belastbarkeit eines FET
powered by a single 5-V supply
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist
prealigned in a special frame
in einem Spezialrahmen vorjustiert
precious metal conductor on a dielectric film
Edelmetalleiter auf einer dielektrischen Schicht
predesignate for a particular mask level/ to
für eine bestimmte Maskenebene vorbestimmen
present the wafer alignment mark on a video screen
die Waferjustiermarke auf einem Bildschirm darstellen
prevent moisture from entering into a connector
das Eindringen von Feuchtigkeit in eine Steckverbindung verhindern
primary pattern generation with a serial electron beam
Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
printout of the contents of a file
Ausdruck des Dateiinhalts
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
prohibitive in a high-volume application
nicht akzeptabel für Großserienanwendung
project a pattern onto the mask
eine Struktur auf die Maske projizieren
project a reduced image onto a wafer
ein verkleinertes Bild auf einen Wafer projizieren
project a single large format image at final size
ein einziges großformatiges Bild im Abbildungsmaßstab 1:1 projizieren
project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
project mask alignment through a lens
Maskenjustierung durch ein Objektiv im Projektionsverfahren
project the image from a mask onto a photosensitive resist
das Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren
project the image of the first aperture on a second aperture
das Bild der ersten Blende auf eine zweite Blende projizieren
project the reticle image down through a reduction lens
das Retikelbild durch ein Verkleinerungsobjektiv projizieren
propagate a small zero-level charge through the device
eine kleine Grundladungsmenge durch das Bauelement durchschieben
provide a great deal of information about
sehrviele Informationen liefern über
provide a high degree of reproducibility
ein hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren
provide a more reliable signal for registration
ein zuverlässigeres Signal für die Justierung liefern
provide in response to a demand
auf eine Anforderung bereitstellen
provoke deliberately the reappearance of a problem
das erneute Auftreten eines Problems absichtlich hervorrufen
pull the wafer on to a flat substrate with a vacuum den
Wafer durch Vakuum auf eine plane Unterlage ansaugen
pulse-width-modulated D-A converter
impulsbreitenmodulierter D-A-Umsetzer
put a tremendous amount of thought and work into the project
einen gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren
put ever increasing numbers of smaller devices on a chip
eine stetig wachsende Zahl von kleineren Elementen auf ein Chip bringen
put the architecture of a minicomputer on a single silicon chip
die Architektur eines Kleinrechners auf ein einziges Siliziumchip bringen
quad-slope A-D converter
A-D-Wandler nach dem Vierflankenverfahren
quartz window of a ceramic package
Quarzfenster eines Keramikgehäuses
rapid-scan X-Y worktable of a bonder
Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
reach a preset level
einen vorgewählten Wert erreichen
read data from a pattern memory
Strukturdaten aus einem Speicher lesen
read from a magnetic memory medium
von einem Magnetspeichermedium auslesen
read in data at a clock rate
Daten bei einer Taktrate einlesen
read out the contents of a memory
den Inhalt eines Speichers auslesen
realize a throughput of 60 wafers per hour
einen Durchsatz von 60 Wafern je Stunde erzielen
re-assemble into a single word
wieder zu einem einzigen Wort zusammensetzen
recall a reticle automatically
ein Retikel automatisch abrufen
(aus der Retikelbibliothek)
record of a given size
Datensatz einer bestimmten Größe
record the responses in a result memory
die Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren
recreation of a file
Wiederherstellung einer Datei
(nach einer größeren Betriebsstörung)
rectangle within a single stripe
Rechteckstempel innerhalb eines einzelnen Streifens
rectilinear array of a mask
Schablonenfeld
reduce data to a useful form
die Daten zu einer brauchbaren Form reduzieren
(verdichten)
reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10
die parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren
(herabsetzen)
reduce the fault to a single error
den Fehlerzustand auf einen einzigen Fehler zurückführen
reduction lens of a step-and-repeat aligner
Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
reel of a film carrier
Filmträgerrolle
register a pattern to underlying ones
eine Struktur mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen
relocate a program
ein Programm verschieben
render a device non-functional
ein Bauelement funktionsuntüchtig machen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repeatability of a given position
Reproduzierbarkeit einer bestimmten Position
replace circuit cards on a best-guess basis
Schaltungskarten auf Grund einer Vermutung ersetzen
replica of a master pattern
Wiedergabe einer Originalstruktur
replica of a master pattern
Abbild einer Originalstruktur
replicate microelectronic test structures across the surface of a wafer
mikroelektronische Teststrukturen auf der Waferfläche vervielfältigen
represent at the output
as a
rectangular waveform
am Ausgang als Rechteckwellenform darstellen
represent mathematically by a polynomial
mathematisch durch ein Polynom darstellen
reproduce pattern details to a greater or lesser degree of accuracy
Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
request a bus cycle from the bus control logic
einen Buszyklus von der Bussteuerlogik anfordern
R-2R ladder network D-A converter
D-A-Umsetzer mit R-2R-Widerstand-Netzwerk
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