Terms for subject Microelectronics containing 1,2

English	German
exposure uniformity across the 1 cm² field	Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem Feld von 1 cm²
least dimensions in the 1 to 2 μm range	kleinste Abmessungen im 1 bis 2-Mikrometerbereich
2:1 step-and-repeat aligner	Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich