Terms for subject Chemistry containing vapor deposition

English	Russian
chemical vapor deposition	осаждение из пара с помощью химической реакции
Electron Beam Physical Vapor Deposition	электронно-лучевое испарение (silver_glepha)
microwave plasma chemical vapor deposition method	химическое парофазное осаждение, активированное микроволновой плазмой (mafina)
physical vapor deposition	осаждение из паровой фазы