Terms for subject Microelectronics containing stepping

English	Russian
direct-wafer-stepping equipment	установка для непосредственного шагового экспонирования
stepping camera	шаговая камера
stepping table	координатный стол с шаговым перемещением
stepping table	координатный стол (key2russia)
wafer-stepping aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
wafer-stepping equipment	оборудование проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием