Terms for subject Microelectronics containing stepper

English	Russian
optical mask stepper	фотоштамп
optical mask stepper	фотоповторитель
stepper aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
stepper lithography	литография с последовательным шаговым экспонированием
wafer stepper	установка последовательного шагового экспонирования
wafer stepper	установка последовательного шагового мультиплицирования
wafer-stepper lithography	литография с последовательным шаговым экспонированием
wafer-stepper projection system	установка проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием
5x stepper	установка проекционной литографии с 5-кратным уменьшением изображения
x-ray stepper	установка рентгеновской литографии с последовательным шаговым экспонированием
X-ray stepper	рентгеновский повторитель (key2russia)