Terms for subject Nanotechnology containing planarization

English	Russian
chemical-mechanical planarization	химико-механическая планаризация поверхности
etchback planarization	планаризация травлением с обратной стороны
interlevel planarization	межуровневая планаризация
nanoparticles slurry-assisted planarization	планаризация поверхности с применением суспензии, содержащей наночастицы
precisely-controlled planarization	точно контролируемая планаризация