Terms for subject Nanotechnology containing on scale

English	Russian
integration on molecular scale	интеграция на молекулярном уровне
lithography on the nanometer scale	литография с нанометровым разрешением
lithography on the nanometer scale	нанолитография
lithography on the nanometer scale	литография для изготовления структур с размерами элементов от 1 до 100 нм
positioning on the nanometer scale	нанопозиционирование
positioning on the nanometer scale	нанометровое позиционирование
tailored on the nanometer scale	адаптированный в нанометровом диапазоне