Terms for subject Microelectronics containing ion-beam

English	Russian
cluster ion-beam apparatus	установка осаждения из потока ионизированных молекул
focused ion-beam lithography	литография с фокусируемым лучом
impurity-ion beam	пучок ионов примеси
ion-beam	подвергнуть ионно-лучевой обработке
ion-beam	подвергать ионно-лучевой обработке
ion-beam annealing	ионно-лучевой отжиг
ion-beam assisted reactive etching	реактивное травление с применением ионного пучка (key2russia)
ion-beam cleaning	ионная очистка
ion-beam damage	дефект, вызванный ионной имплантацией
ion-beam deposition	ионно-пучковое осаждение
ion-beam implanter	установка ионного легирования
ion-beam induced surface chemistry	химия реакций на поверхности стимулированных ионным пучком
ion-beam lithography	ионная литография
ion-beam lithography setup	установка ионно-лучевой литографии
ion-beam machine	ионно-лучевая установка
ion-beam machining	ионно-лучевая обработка
ion-beam processing	ионно-лучевая обработка
ion-beam recrystallization	рекристаллизация ионным пучком
ion-beam sputtering system	установка ионно-лучевого распыления
ion-beam stencil mask	шаблон для ионной литографии
ion-beam system	установка ионно-лучевой литографии
ion-beam writing	ионно-лучевое формирование рисунка
Kauffman ion beam	пучок ионов из источника кауфмана
microfocused ion beam	ионный микрозонд
reactive-ion beam	пучок химически активных ионов
scanning ion-beam lithography	сканирующая ионная литография