Terms for subject Nanotechnology containing ion plasma

English	Russian
beam plasma ion source	пучково-плазменный источник ионов
beam plasma-type ion source	пучково-плазменный источник ионов
cathode-ion bombardment plasma-chemical synthesis	плазмохимический синтез методом катодно-ионной бомбардировки
ion plasma technology	ионно-плазменная технология
ion plasma technology-produced film	плёнка, полученная ионно-плазменной технологией
ion-coupled plasma	ионно-связанная плазма
ion-plasma etching	ионно-плазменное травление
ion-plasma propulsion	плазменно-ионный РД
ion-plasma sputtering	ионно-плазменное напыление
ion-plasma technology-produced film coating	плёночное покрытие по ионно-плазменной технологии
plasma immersion ion implantation	плазменная ионная имплантация методом погружения
plasma ion implantation	плазменная ионная имплантация
plasma-based ion implantation	плазменная ионная имплантация
plasma-ion rocket	плазменно-ионный РД
plasma-ion rocket	ионный РД с объёмной ионизацией рабочего тела
reactive ion-plasma etching	реактивное ионоплазменное травление