Terms for subject Microelectronics containing fine lining

English	Russian
fine-line definition	формирование рисунка с высоким разрешением
fine-line geometry	геометрия микроструктур с элементами уменьшенных размеров
fine-line imaging	формирование рисунка с высоким разрешением
fine-line pattern	рисунок с высоким разрешением
fine-line patterning	формирование рисунка с элементами уменьшенных размеров
fine-line patterning	формирование рисунка с высоким разрешением
fine-line patterning	микроструктурирование с высоким разрешением
fine-line spacing	малый зазор
fine-line spacing	малое расстояние
fine-line technology	технология ИС с элементами уменьшенных размеров
fine-line width	малая ширина линии