Terms for subject Microelectronics containing exposure

English	Russian
electron-beam exposure technology	метод электронного экспонирования
electron-beam exposure technology	метод электронно-лучевого экспонирования
exposure chart	таблица экспозиции
exposure system	установка фотолитографии
exposure system	установка литографии
exposure time	время экспонирования
exposure uniformity	равномерность экспонирования
full field exposure system	система экспонирования на всё поле (полупроводниковой пластины)
mask alignment and exposure system	установка фотолитографии
mask alignment and exposure system	установка совмещения и экспонирования
transmission-exposure curve	кривая почернения
uv exposure system	установка литографии с использованием ультрафиолетового излучения
uv exposure system	установка литографии с использованием УФ-излучения
variable-shaped electron-beam exposure system	установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча
x-ray exposure system	установка рентгенолитографии
x-ray exposure system	установка рентгеновской литографии