Terms for subject Microelectronics containing etchant

English	Russian
directional etchant	направленный травитель
dry etchant	сухой травитель
etchant masking material	маскирующий материал для травления
etchant regeneration	регенерация травителя
etchant regeneration system	установка регенерации травителя
etchant rejuvenation	регенерация травителя
etchant solution	травитель
highly electrophilic etchant species	высоко электрофильная травящая частица
polishing etchant	травитель для полировки
selective etchant	селективный травитель
vapor etchant	пары травителя