Terms for subject Microelectronics containing etch technique

English	Russian
etch-and-refill technique	метод избирательного травления и заполнения канавок
etch-stop technique	метод остановки травления (Annette22)
sputter-etch technique	травление методом реактивного распыления (key2russia)
trench-etch technique	метод вытравливания канавок