Terms for subject Makarov containing beam scanning

English	Russian
beam scanning	сканирование пучка
laser beam scanning speed	скорость сканирования лазерным лучом (напр., при использовании интегральной или вибрирующей оптики)
pumping by a scanning electron beam	накачка сканирующим электронным пучком
scanning electron-beam lithography	электронолитография со сканированием
scanning electron-beam lithography	сканирующая электронолитография