Terms for subject Microelectronics containing UV

English	Russian
deep-uv contact printer	установка контактной фотолитографии с источником дальнего ультрафиолетового
deep-UV contact printing	контактная фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
deep-UV contact printing	контактная фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia)
deep-uv exposure	экспонирование дальним ультрафиолетовым излучением
deep uv light	дальнее ультрафиолетовое излучение
deep-UV lithography	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia)
deep-UV lithography	фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
deep-uv lithography	литография в глубоком ультрафиолете
deep uv mask	фотошаблон с дальним УФ-излучением
deep-uv projection aligner	установка проекционной фотолитографии дальним УФ-излучением
deep-uv projection system	установка проекционной фотолитографии с источником дальнего ультрафиолетового
deep uv rays	дальнее ультрафиолетовое излучение
deep-uv region	область дальнего ультрафиолетового излучения
deep-uv resist	резист, чувствительный к дальнему ультрафиолетовому излучению
near-uv region	область ближнего ультрафиолетового излучения
near-uv resist	резист, чувствительный к ближнему ультрафиолетовому излучению
pulsed far-uv laser	импульсный лазер дальней УФ-области
uv degradation	деградация под воздействием УФ-излучения
uv emulsion	эмульсия, чувствительная к УФ-излучению
uv exposure system	установка литографии с использованием ультрафиолетового излучения
uv exposure system	установка литографии с использованием УФ-излучения
uv-laser	ультрафиолетовый лазер
uv laser etching	лазерно-стимулированное травление в УФ-диапазоне
uv source	источник ультрафиолетового излучения
uv source	источник УФ-излучения