Terms for subject Microelectronics containing Shallow

English	Russian
shallow acceptor	мелкий акцептор
shallow chip structure	структура кристалла ИС с мелкими областями
shallow diode	диод с мелкой структурой
shallow donor	мелкий донор
shallow emitter	эмиттер с мелкой структурой
shallow homojunction	мелкий гомопереход
shallow-junction transistor	транзистор с мелкими переходами
shallow level	мелкий уровень
shallow-level impurity	примесь, создающая мелкий уровень
shallow-lying impurity	примесь, создающая мелкий уровень
shallow oxide	оксид, заполняющий мелкие канавки
shallow region	мелкая область
shallow trench isolation	узкощелевая изоляция (agb)
shallow V-groove technique	метод изоляции мелкими В-образными канавками