Меня конкретно интересует фраза parametric measurements microel.

[KratoDNS]

.For parametric measurements (films, CD and overlay) measurements are performed only on an infinitesimal percentage of the total transistors on each of the selected wafers

[crockodile]

конкретно
параметрия/ измерение параметров

("параметрические измерения" - будет масло масляное)

[Alex16]

Я не спец, но в гугле полно ссылок на "параметрические измерения" (хотя я и подумал об измерении параметров), например:

http://www.eriscom.ru/rekomendacii-po-primeneneniju.html/nid/165

[KratoDNS]

Честно говоря , меня сбивает с толку слова в скобках, текст про то , как важно время в проектировании полупроводниковых приборов, а эти (films, CD and overlay), впридачу к measurement совсем путают

[DrDIT]

Overlay - это взаимное смещение слоев, наносимых на подложку при фотолитографии. Films - собственно наносимые пленки из различных материалов.
СD - critical dimenstion (см. https://books.google.ru/books?id=BcIBfCwUS6sC&pg=PA87&lpg=PA87&dq=microelectronics+CD+error&source=bl&ots=-60bafcs81&sig=sbtQ8dIT0y82WsfoGX79qfVuY7M&hl=en&sa=X&ved=0ahUKEwjVqcWhmurRAhUDCZoKHUshACkQ6AEIHDAA#v=onepage&q=microelectronics%20CD%20error&f=false)
То есть
Измерение параметров (пленок, критически важных размеров и смещений слоев) выполняются... (дальше вроде все понятно)

[KratoDNS]

Спасибо)))

[alk]

я бы только добавил, что overlay это скорее совмещение слоев при фотолитографии

[DrDIT]

Да, совершенно верно, но меряют именно ошибку смещения следующего слоя относительно предыдущего.