surface technology system gen.

[cinnabarworld]

Пожалуйста, помогите перевести.
surface technology system
Выражение встречается в следующем контексте:
The
surface technology system inductively coupled plasma silicon etcher is a good example of the application of the Bosch process, in which SF6 and C4F8 act as etching and polymerization reactants, respectively.
Заранее спасибо

[Erdferkel]

http://www.lsi.usp.br/~acseabra/pos/5838_files/bosch2.pdf
http://www.ftian.ru/dissovet/avtorefshumilov.pdf