closed-field unbalanced-magnetron sputtering.

[_dragonfly_]

Всем доброго времени суток!
Есть сомнения в правильности формулировки при переводе.
Контекст такой:
A substrate material for coating TiAlN films, which were deposited using closed-field unbalanced-magnetron sputtering.

Мой перевод:
Материал подложки для покрытий TiAlN, наносимых напылением в замкнутом поле дисбалансного магнетрона.

Что скажете? :-)

[_dragonfly_]

нет вариантов?