Subject: Очень нужно помощь!!! не могу понять, как тут нормально, со смыслом можно перевести: sparse line patterns,dense line patterns, sparse feature, line dose, range of doses Просто весь перевод, который нашёл, получается как то не по-русски и к тексту не имеет никакого отношения. To examine the viability of the resists for nanolithogra-phy, sparse and dense line patterns were written using the Raith lithography system. Fig. 4a shows lines and spaces with a half pitch of 25 nm written in Resist В with a line dose of 140 pC/cm. A PAB of 75 °C for 600 s and a РЕВ of 90 °C for 180 s were applied prior to development. The LWR of these lines was measured to be 4.0 nm. In comparison the line dose required by a pure fullerene film would be approximately 10,000 pC/cm. Fig. 4b shows sparse features with a line width of 15 nm written with a line dose of 240 pC/cm. In this case no PAB was applied and the РЕВ was as before. The LWR for these lines was 6.0 nm. In the case of Resist В the best line width rough¬ness was found to be 2.4 nm, measured on 18 nm sparse lines exposed at ~600 pC/cm. Заранее, огромное спасибо. |
Близко / далеко расположенные линии/элементы Line dose -- (resist) exposure dose IMHO |
Получается, что Resist В with a line dose of 140 pC/cm, это линии/элементы расположены на такую-то величину?? |
Нет, это я думаю сила светового излучения, который подается в виде "линии" а не пучка |
|
link 2.12.2010 20:56 |
Очень нужно помощь - is this new Russian speak? |
Line dose = beam current * dwell time / line step Как-то так... Дозировка излучения = сила луча * время излучения / размер луча |
Вот тут все же называют их пучками с прямоугольным сечением... Длинновато как-то http://www.neuch.ru/referat/85091.html (смотри электронно-лучевое экспонирование) |
You need to be logged in to post in the forum |