Orientation flat/Notch detection; transmitted type sensor

[maricom]

Будьте добры, помогите с переводом следующего кусочка (из Specification прибора NWL-641 для контроля качества п/п пластин, Nikon). Особенно мне важно узнать, что такое Orientation flat/Notch detection и transmitted type sensor. Кстати, в спецификации к другой модели того же прибора (NWL200) в оригинале стоит не Orientation flat/Notch detection, а Notch/orientation flat detection, т.е. те же слова, но в другом порядке. (Имеет ли это смысл, или это просто ошибка в оригинале?)

Inspection Mode - NWL-860TMB INX: Micro Inspection, Tilt Macro Inspection, Back Side Center Macro Inspection, Back Side Periphery Macro Inspection, SMIF Elevator

Wafer Transfer: Robotic transfer with vacuum chuck
Pre-alignment: Non-contact pre-alignment
Orientation Flat/Notch Detection: By transmitted type sensor; wafer angle before and after inspection can be specified in increments of 90 degrees
Stage: Dedicated state (rotatable 360 degrees, with vacuum chuck)

Режим контроля - NWL-860TMB INX: Микроконтроль, макроконтроль по углу места, макроконтроль центра обратной стороны, макроконтроль периферии обратной стороны, подъемный механизм SMIF
Транспортировка пластин: Роботизированная транспортировка с вакуум-присосом(?)
Предварительная юстировка(?): Бесконтактная предварительная юстировка
Orientation flat/Notch detection???: С помощью transmitted type??? датчика, Угол пластины до и после контроля может быть определен с шагом 90 градусов
Предметный столик: Специальный столик (вращается на 360 градусов, с вакуум-присосом(?)

Буду очень признательна за ответ!

[Yakov]

Orientation flat/Notch detection и transmitted type sensor.
Это обнаружение выреза или среза на пластине, который сделан для идентификации ориентации кристаллической решетки
Использование выреза или среза зависит от размеров и типа пластины
Оптический датчик проходящего света обнаруживает наличие этого выреза или среза