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| ion-assisted plasma etching | |||
| reactive ion etching; reactive-ion etching; RIE (Reactive Ion Etch/Etching pansypras) | |||
| reactive ion milling | |||
| реактивное ионное травление: 18 a las frases, 6 temas |
| Electrónica | 2 |
| General | 1 |
| Medios de comunicación en masa | 1 |
| Microelectrónica | 4 |
| Nanotecnología | 7 |
| Tecnología | 3 |