Macro Inspection Functions

[marikom]

http://www.nikoninstruments.eu/Products/Semiconductor-Systems/Semiconductor-Equipment/NWL200

Full Range of Macro Inspection Functions
In addition to pattern side macro inspection of all areas, macro inspections of the back side periphery and back side center are supported

Полный диапазон функций макро-контроля качества??
Кроме макро-контроля качества всех областей со стороны шаблона??, также поддерживаются функции макро-контроля качества краев и центра с задней стороны??.

Подскжаите, как правильно сформулировать Мacro Inspection Functions и back side periphery/back side center

[Yakov]

Функции макроинспекции периферии нижней поверхности полупроводниковой пластины / центра нижней поверхости полупроводниковой пластины
(в дополнение к макроинспекции всех областей верхней поверхности пластины с микросхемами)