 |
| |||
| processing chamber; process chamber; process vessel | |||
| processing cell | |||
| process cell (напр., для работы с радиоактивными отходами на АЭС) | |||
| технологическая камера: 8 צירופים, 5 נושאים |
| אנרגיית תרמית | 1 |
| מיקרואלקטרוניקה | 1 |
| מכשירי חשמל | 1 |
| ננוטכנולוגיה | 1 |
| תעשיית האנרגיה | 4 |