גרמנית ⇄ איטלקית אנגלית דנית הולנדית יוונית ספרדית פורטוגלית פינית צרפתית רוסית שוודית +

VATE-Technik f
.מיקרו	vertical anisotropic etch technique
.מכשיר	V-groove isolation; vertical anisotropic etching