 |
| |||
| електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron lithography : 10 צירופים, 2 נושאים |
| מַדָעִי | 2 |
| מיקרואלקטרוניקה | 8 |