אנגלית ⇄ רוסית +

top-down technology-based microelectromechanical system מתח
.ננוטכ	МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); МЭМС на основе технологии нисходящего производства