| |||
плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
plasma etch: 7 צירופים, 2 נושאים |
טֶכנוֹלוֹגִיָה | 3 |
מיקרואלקטרוניקה | 4 |