אנגלית ⇄ אוקראינית גרמנית רוסית +

pattern line width מתח
.טֶכנו	ширина линии микроструктуры (ИС); ширина линии структуры (ИС)
.מיקרו	ширина линии микроструктуры
.מעגלי	ширина линии структуры