אנגלית ⇄ רוסית +

microelectromechanical system-based device מתח
.מכשיר	прибор на основе микроэлектромеханических систем; устройство на основе микроэлектромеханических систем
.ננוטכ	МЭМС-устройство; устройство на основе микроэлектромеханической системы