אנגלית ⇄ אוקראינית רוסית +

fine-pattern geometry מתח
.טֶכנו	геометрия ИС с элементами уменьшенного размера
.מיקרו	геометрия микроструктур с элементами уменьшенных размеров
.מכשיר	геометрия ИС с элементами уменьшенных размеров