אנגלית ⇄ רוסית +

e-beam writing מתח
.מיקרו	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
.ננוטכ	электронно-лучевая запись; электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину (с резистом); запись электронным пучком