אנגלית ⇄ אוקראינית גרמנית רוסית +

doping uniformity מתח
.טֶכנו	однородность легирования (профиля); однородность профиля легирования
.מיקרו	равномерность распределения легирующей примеси
.מכשיר	равномерность распределение легирующей примеси