אנגלית ⇄ אוקראינית גרמנית סינית רוסית +

direct-write electron-beam lithography מתח
.מיקרו	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка
.מכשיר	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
.תקשור	бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование