אנגלית ⇄ אוקראינית סינית רוסית +

deep-uv lithography מתח
.מיקרו	литография в глубоком ультрафиолете
.מכשיר	фотолитография с источником дальнего УФ-излучения
deep-UV lithography
.מיקרו	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia); фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
.תקשור	фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете