אנגלית ⇄ רוסית +

PECVD-process מתח
.ננוטכ	процесс плазмостимулированного газофазного осаждения; процесс плазмохимического газофазного осаждения; ПХГФО-процесс
PECVD process
.ננוטכ	процесс плазмостимулированного газофазного выращивания