אנגלית ⇄ אוקראינית סינית רוסית +

deep reactive ion etching
.כִּימ	深度反应离子腐蚀; 深度反应离子刻蚀
.מכוני	离子深电抗性蚀刻
.מכשיר	深反应离子蚀刻