 |
| |||
| plasma etch chemistry | |||
| plasma-chemical etching | |||
| plasma etch (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления); plasma etching (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазмохимическое травление: 5 phrases, 2 sujets |
| Microélectronique | 2 |
| Nanotechnologie | 3 |