 |
| |||
| електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron lithography : 8 phrases, 1 sujets |
| Microélectronique | 8 |