 |
| |||
| сглаживание ступеньки | |||
| покрытие ступеньки | |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
|
step coverage : 3 phrases, 2 sujets |
| Électronique | 1 |
| Microélectronique | 2 |