 |
| |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазменное травление | |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| plasma etching: 48 phrases, 5 sujets |
| Électronique | 4 |
| Makarov | 2 |
| Microélectronique | 16 |
| Nanotechnologie | 13 |
| Technologie | 13 |