 |
| |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| plasma etch: 7 phrases, 2 sujets |
| Microélectronique | 4 |
| Technologie | 3 |