 |
| |||
| взрывная литография; обратная литография | |||
| взрывная литография; "взрывная" литография (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя удаляется неэкспонированный резист и находящийся на нем металл) | |||
| |||
| обратная литография; «взрывная» литография (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя неэкспонированный резист и находящийся на нём металл удаляются) | |||