Anglais ⇄ Langues chinoises Russe Ukrainien +

deep-uv lithography contraintes
micr.	литография в глубоком ультрафиолете
électr.	фотолитография с источником дальнего УФ-излучения
deep-UV lithography
micr.	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia); фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
médias.	фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете