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| Vektorscan-Verfahren n (der Elektronenstrahl wird innerhalb eines Ablenkfeldes so geführt, daß nur die zu belichtenden Strukturgebiete abgerastert und die nicht zu belichtenden Gebiete übersprungen werden) | |||
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vector scan method : 2 phrases, 1 sujets |
| Microélectronique | 2 |