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| run-out; runout; runout error (durch Lageverzerrung) | |||
| positioning error; error of position; plane error; stepping error (mask production) | |||
| planimetric error; position error | |||
| positional error | |||
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Lagefehler : 5 phrases, 3 sujets |
| Électronique | 1 |
| Microélectronique | 3 |
| Optique branche de la physique | 1 |