 |
| |||
| фотолитография интегральных схем | |||
| фотографический метод изготовления (напр., фотошаблонов) | |||
| изготовление методом фотолитографии | |||
| изготовление ИС методом фотолитографии; фотохимическая обработка | |||
| photofabrication: 1 a las frases, 1 temas |
| Microelectrónica | 1 |