 |
| |||
| сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) | |||
|
dry etching : 3 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 3 |
|
| |||
| сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) | |||
|
dry etching : 3 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 3 |